[实用新型]一种柔性带状物表面金属镀膜设备无效
| 申请号： | 200620085537.3 | 申请日： | 2006-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN200958114Y | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 毕研文;王乃用;宋小斌;张强;江衍勤 | 申请（专利权）人： | 菏泽天宇科技开发有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 | 代理人： | 张贵宾 |
| 地址： | 274000山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 带状 表面 金属 镀膜 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种柔性带状物表面金属镀膜设备，包括真空室(13)及与真空室(13)相连接的真空系统，其特征在于：真空室(13)上设有靶极移动门(12)和传动移动门(14)，靶极移动门(12)上安装有磁控溅射靶极(4)，传动移动门(14)上安装有被镀物的卷绕机构。
2.根据权利要求1所述的柔性带状物表面金属镀膜设备，其特征在于：所述磁控溅射靶极(4)分两列平行安装，每列采用固定式或旋转式组合靶极。
3.根据权利要求1所述的柔性带状物表面金属镀膜设备，其特征在于：所述卷绕机构包括放卷轴(5)、收卷轴(6)以及分别由电机拖动的两个牵引轴(1)，所述放卷轴(5)与牵引轴(1)之间、牵引轴(1)与收卷轴(6)之间安装有多个位置固定的过渡轴(2)，收卷端安装有用来控制收卷轴(6)的速度恒定的调速轴(7)。
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