[实用新型]一种多方位旋转定位阀无效
| 申请号： | 200620048876.4 | 申请日： | 2006-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN201015843Y | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | 孔建军;吴根兴;张龙;周海锋 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;H01L21/304;B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种多方位旋转定位阀。现有的化学机械研磨设备的喷头固定结构存在螺丝易松脱使喷头移位，以及日常维护不方便等问题。本实用新型的多方位旋转定位阀，包括底体和把手，所述座体上表面开设有数个凹槽，且座体上还设有一盖体，盖体通过一固定螺丝连接至座体，并可以固定螺丝为轴相对座体转动；所述把手的一端固定在盖体上，一定位螺丝穿设于把手和盖体中；所述定位销钉包括活动销棒和弹簧，弹簧的上端抵顶于把手的下表面，弹簧的下端固定在活动销棒上，且活动销棒的下端部的大小与凹槽的大小相匹配。本实用新型的旋转定位阀不仅能旋转定位于多个方位，而且具有封闭的外部结构，可防止定位阀内部机构与晶圆加工环境之间的相互污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多方位 旋转 定位 | ||
【主权项】：
1.一种多方位旋转定位阀，包括座体和把手，其特征在于：所述座体上表面开设有数个凹槽，且座体上还设有一盖体，盖体通过一固定螺丝连接至座体，并可以固定螺丝为轴相对座体转动；所述把手的一端固定在盖体上，一定位螺丝穿设于把手和盖体中；所述定位销钉包括活动销棒和弹簧，弹簧的上端抵顶于把手的下表面，弹簧的下端固定在活动销棒上，且活动销棒的下端部的大小与座体上凹槽的大小相匹配。
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