[实用新型]制备多晶硅用铸锭炉无效
申请号: | 200620031881.4 | 申请日: | 2006-05-08 |
公开(公告)号: | CN200968773Y | 公开(公告)日: | 2007-10-31 |
发明(设计)人: | 高文秀 | 申请(专利权)人: | 上海普罗新能源有限公司 |
主分类号: | F27B14/08 | 分类号: | F27B14/08 |
代理公司: | 郑州联科专利事务所 | 代理人: | 田小伍 |
地址: | 200092上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 制备多晶硅用铸锭炉,包括置于中间的铸锭坩埚,坩埚外扣设加热罩,加热罩外扣设与其联接的保温罩,坩埚底部设有水冷却循环系统,加热罩中自下而上设有分层加热元件。加热罩中自下而上设有侧面五层、顶面一层共六层加热元件。坩埚底部或/和保温罩顶部设有升降机构。本实用新型可实现对硅水的均匀加热和定向匀速冷却。 | ||
搜索关键词: | 制备 多晶 铸锭 | ||
【主权项】:
1、制备多晶硅用铸锭炉,包括置于中间的铸锭坩埚,其特征在于,坩埚外扣设加热罩,加热罩外扣设与其联接的保温罩,坩埚底部设有水冷却循环系统,加热罩中自下而上设有分层加热元件。
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