[实用新型]制备多晶硅用铸锭炉无效
| 申请号: | 200620031881.4 | 申请日: | 2006-05-08 | 
| 公开(公告)号: | CN200968773Y | 公开(公告)日: | 2007-10-31 | 
| 发明(设计)人: | 高文秀 | 申请(专利权)人: | 上海普罗新能源有限公司 | 
| 主分类号: | F27B14/08 | 分类号: | F27B14/08 | 
| 代理公司: | 郑州联科专利事务所 | 代理人: | 田小伍 | 
| 地址: | 200092上海市*** | 国省代码: | 上海;31 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 制备 多晶 铸锭 | ||
【权利要求书】:
                1、制备多晶硅用铸锭炉,包括置于中间的铸锭坩埚,其特征在于,坩埚外扣设加热罩,加热罩外扣设与其联接的保温罩,坩埚底部设有水冷却循环系统,加热罩中自下而上设有分层加热元件。
2、如权利要求1所述的制备多晶硅用铸锭炉,其特征在于,加热罩中自下而上设有侧面五层、顶面一层共六层加热元件。
3、如权利要求1或2所述的制备多晶硅用铸锭炉,其特征在于,坩埚底部或/和保温罩顶部设有升降机构。
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