[发明专利]低成本且高性能的太阳能电池制造机构无效
| 申请号： | 200610171703.6 | 申请日： | 2006-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN101062499A | 公开（公告）日： | 2007-10-31 |
| 发明（设计）人： | 波本斯·西卡纳吉斯特;奈拉特·平门;佳朗·斯瑞萨拉辛昆;皮拉瓦特·青拉郎斯思;派提潘·库鲁塔得;索拉克·胡拉克萨 | 申请（专利权）人： | 国家科技发展机构 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02;H01L31/18;H01L31/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 泰国帕*** | 国省代码： | 泰国;TH |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高性能及成本效益的太阳能电池制造机构，其包含以下组件：真空腔体、箱载体以及电极。此箱载体不同于旧型的箱载体，在于基板将被垂直地涂布薄膜。与水平薄膜涂布相较，可发现其没有被膜涂布的区域较少。这些区域包含轮子上方及上支撑物下方的区域。当浪费的区域减少，太阳能电池将更有效益。此电极是称为孔洞状电极的新式设计，其具有一个信号极连接到腔体之前缘。当与VHF一起使用时，太阳能电池会有高性能。 | ||
| 搜索关键词： | 低成本 性能 太阳能电池 制造 机构 | ||
【主权项】：
1.一种与VHF频率产生器作用的高效率太阳能电池制造机构，用于垂直地涂布非晶硅膜及微晶硅膜于基板上，包含真空腔体、箱载体以及电极，其特征在于基板上非晶硅膜及微晶硅膜的涂布是垂直地进行、孔洞状电极与VHF产生器的合力作用、以及电极前缘中央内安装信号极，以涂布非晶硅膜及微晶硅膜。
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