[发明专利]低成本且高性能的太阳能电池制造机构

权利要求书

1.一种与VHF产生器作用的太阳能电池制造机构，包含真空腔体、箱载体以及电极，其特征在于，基板上非晶硅膜及微晶硅膜的涂布是垂直地进行，所述电极是孔洞状电极，所述孔洞状电极与VHF产生器发生合力作用，并且，在电极前缘中央内安装信号极。

2.如权利要求1所述的制造机构，其中电极由平坦铝制成且有很多孔洞贯穿，孔洞的直径相等并且孔洞间的距离亦相等，信号极连接于电极前缘的中央。

3.如权利要求1所述的制造机构，其中箱载体由铝制成，在箱载体中有很多孔洞状电极垂直竖立，电极放在同样尺寸的平板之间，这些板连接到箱的墙壁并且作为接地，基板将装到箱内每一电极板及接地板。