[发明专利]薄膜晶体管及其有源层的制作方法与液晶显示器有效
| 申请号： | 200610143544.9 | 申请日： | 2006-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN101179016A | 公开（公告）日： | 2008-05-14 |
| 发明（设计）人： | 郑翔远;姜信铨;赖识翔;余锦智;庄博全 | 申请（专利权）人： | 台湾薄膜电晶体液晶显示器产业协会;中华映管股份有限公司;友达光电股份有限公司;广辉电子股份有限公司;瀚宇彩晶股份有限公司;奇美电子股份有限公司;财团法人工业技术研究院;统宝光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/208 | 分类号： | H01L21/208;H01L21/336;H01L29/786;G02F1/136 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张波 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及薄膜晶体管的有源层的制作方法，包括先提供一个基板，再使用溶液工艺制备一种半导体前驱物溶液，接着提供上述半导体前驱物溶液到基板上，以形成一层半导体前驱物薄膜。然后，利用一道光源照射半导体前驱物薄膜，以移除半导体前驱物薄膜内残留的溶剂及使其产生半导体特性而形成一层半导体有源层。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 有源 制作方法 液晶显示器 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管的有源层的制作方法，包括：提供一基板；使用一溶液工艺制备一半导体前驱物溶液；提供该半导体前驱物溶液到该基板上，从而形成一半导体前驱物薄膜；以及利用一光源照射该半导体前驱物薄膜，从而移除该半导体前驱物薄膜内残留的溶剂及使其产生半导体特性而形成一半导体有源层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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