[发明专利]在等离子体处理系统中处理不同宽度基片的可调电极组件有效
| 申请号： | 200610141520.X | 申请日： | 2006-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN1956138A | 公开（公告）日： | 2007-05-02 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·V·博尔登二世 | 申请（专利权）人： | 诺信公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/32;H01J37/00;H05H1/00;H01L21/00;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 刘莉婕;杨本良 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于等离子体处理系统的电极组件，包括可移除的导轨，该导轨可被调节以重新配置电极从而适应不同宽度的基片。该电极组件包括具有多个第一连接部件的电极。配合用于在电极上支撑基片的多个导轨与该电极相关联。导轨的每一个包括多个第二连接部件。第二连接部件的每一个可拆卸地连接于第一连接部件的一个以可移除地安装导轨和电极。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 系统 不同 宽度 可调 电极 组件 | ||
【主权项】：
1.一种用于在等离子体处理系统中支撑一个或多个基片的电极组件，该电极组件包括：具有多个第一连接部件的电极；和与所述电极相关联并且配合用于在所述电极上支撑基片的多个导轨，所述导轨的每一个包括多个第二连接部件，并且所述第二连接部件的每一个可拆卸地连接于所述第一连接部件中的一个从而可移除地安装所述导轨和所述电极。
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