[发明专利]在等离子体处理系统中处理不同宽度基片的可调电极组件有效
| 申请号： | 200610141520.X | 申请日： | 2006-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN1956138A | 公开（公告）日： | 2007-05-02 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·V·博尔登二世 | 申请（专利权）人： | 诺信公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/32;H01J37/00;H05H1/00;H01L21/00;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 刘莉婕;杨本良 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 系统 不同 宽度 可调 电极 组件 | ||
【权利要求书】：
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