[发明专利]一种用于步进扫描光刻机的精密隔振系统

摘要

本发明公开了一种用于步进扫描光刻机的精密隔振系统，它包括多个主动减振单元，主动减振单元包括底座和中间体，在中间体与底座之间设有空气弹簧装置和垂直磁致伸缩作动器；在中间体和底座的侧壁之间设有水平超磁致伸缩作动器和预压力调整装置；一个压力传感器；空气弹簧装置通过高速伺服气动阀与外部气源连通；垂直磁致伸缩作动器、水平超磁致伸缩作动器、压力传感器和高速伺服气动阀与控制系统电连接，控制系统还电连接位移传感器、水平传感器、六自由度加速度传感器。本发明不但可以隔离高频振动，而且对于低频微幅隔振也是非常有效的；不仅可以作为步进扫描光刻机的配套精密隔振系统，而且可以用于其他需要精密隔振的高科技领域。

主权项

1、一种用于步进扫描光刻机的精密隔振系统，其特征是：它包括：A、多个主动减振单元(22a、22b、22c、22d)，所述的主动减振单元(22a)包括一个用来安装各个部件以及把整个减振单元固定在步进扫描光刻机的基座上的底座(1a)；一个同轴线套在所述底座(1a)内用来连接步进扫描光刻机的工作平台的中间体(2a)，在所述中间体(2a)的底部与底座(1a)之间设有空气弹簧装置(12a)和垂直磁致伸缩作动器(25a)；在所述中间体(2a)和所述底座(1a)的侧壁之间设有两个相互垂直布置的水平超磁致伸缩作动器(3a、9a)及其安装座(4a、10a)和两个与水平超磁致伸缩作动器(3a、9a)相对应的预压力调整装置(5a、8a)及其安装座(6a、7a)；一个安装在中间体(12a)上的压力传感器(13a)；4个空气弹簧装置分别通过三个高速伺服气动阀(26、27、28)与外部气源(24c)连通；每个主动减振单元的垂直磁致伸缩作动器(25a)、水平超磁致伸缩作动器(3a、9a)、压力传感器(13a)和高速伺服气动阀与控制系统电连接，控制系统还电连接一个安装在工作平台下表面的中心位置的位移传感器(23)，一个用来测量工作平台相对XY平面的倾角的水平传感器(18)，一个用来测量工作平台六个方向的加速度的六自由度加速度传感器(20)。