[发明专利]一种用于步进扫描光刻机的精密隔振系统无效
| 申请号： | 200610136730.X | 申请日： | 2006-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN1959533A | 公开（公告）日： | 2007-05-09 |
| 发明（设计）人： | 吴运新;邓习树;杨辅强;王建平;袁志扬;蔡良斌 | 申请（专利权）人： | 中南大学;上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 长沙市融智专利事务所 | 代理人： | 颜勇 |
| 地址： | 410083*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 步进 扫描 光刻 精密 系统 | ||
【说明书】：
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