[发明专利]基于纳米测量机和微触觉测头的微几何量测量装置有效
| 申请号： | 200610129814.0 | 申请日： | 2006-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN1975322A | 公开（公告）日： | 2007-06-06 |
| 发明（设计）人： | 栗大超;李源;赵大博;傅星;胡小唐 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/02;G01B11/24;G01B9/02;G01B7/00;G01B7/02;G01B7/28;G01L1/14;G01L1/18;G01L1/24;G01N13/16;G01N13/12 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 | 代理人： | 江镇华 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于纳米测量机和微触觉测头的微几何量测量装置，包括有作为定位测量平台的纳米测量机，还设置有能够对微器件和微结构的几何量进行测量的基于压阻检测的微触觉测头系统，所述的微触觉测头系统是通过设置在纳米测量机上部的固定支架被固定在纳米测量机的上部。本发明克服了以原子力显微镜和扫描隧道显微镜为代表的扫描探针显微技术在测量范围上的局限性，拓展了光学测量等其他测量手段的测量对象的范围，实现对包括微力、位移、尺寸、形貌特征等参数在内的微结构几何量的测量和表征。解决了在微加工制造和微结构测试领域对几何量测量的方法和装置的迫切需求。本发明提高了测量的精度，将测量范围延展到微观领域。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 纳米 测量 触觉 几何 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基于纳米测量机和微触觉测头的微几何量测量装置，其特征在于，包括有作为定位测量平台的纳米测量机，还设置有能够对微器件和微结构的几何量进行测量的基于压阻检测的微触觉测头系统(5)，所述的微触觉测头系统(5)是通过设置在纳米测量机上部的固定支架(7)被固定在纳米测量机的上部。
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