[发明专利]基于纳米测量机和微触觉测头的微几何量测量装置有效
| 申请号： | 200610129814.0 | 申请日： | 2006-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN1975322A | 公开（公告）日： | 2007-06-06 |
| 发明（设计）人： | 栗大超;李源;赵大博;傅星;胡小唐 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/02;G01B11/24;G01B9/02;G01B7/00;G01B7/02;G01B7/28;G01L1/14;G01L1/18;G01L1/24;G01N13/16;G01N13/12 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 | 代理人： | 江镇华 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 纳米 测量 触觉 几何 装置 | ||
【说明书】：
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