[发明专利]酸发生剂、磺酸、磺酸衍生物及辐射敏感树脂组合物有效
| 申请号： | 200610126701.5 | 申请日： | 2002-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN1916760A | 公开（公告）日： | 2007-02-21 |
| 发明（设计）人： | 江幡敏;米田英司;永井智树;舍人达也;王勇;岩泽晴生;西村幸生 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C07D207/40;C07D209/70;C07D211/88;C07D221/14;C07D491/18 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈昕 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了一种含有下式(2)、(2－A)或(2－B)的结构的新的光致酸发生剂，其中各基团如说明书所定义。当用于化学放大辐射敏感树脂组合物时，光致酸发生剂表现出高透明度、较高的可燃性，和没有生物累积，产生的酸表现出高酸性、高沸点、在树脂涂层中适度的扩散长度以及对掩模图形密度的低依赖性。 | ||
| 搜索关键词： | 发生 磺酸 衍生物 辐射 敏感 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1、酸发生剂，其为下式(2)的N-磺酰氧基酰亚胺化合物，![]()
其中R表示具有小于或等于50重量％的氟含量的一价有机基团、硝基、氰基或氢原子，Z1和Z2各自是氟原子或直链或支链有1-10个碳原子的全氟烷基，R6和R7各自表示氢原子或取代的或未取代的一价有机基团，或R6和R7可与R6或R7相连的碳原子一起成环，Y2是单键、双键或二价有机基团。
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