[发明专利]酸发生剂、磺酸、磺酸衍生物及辐射敏感树脂组合物有效
| 申请号： | 200610126701.5 | 申请日： | 2002-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN1916760A | 公开（公告）日： | 2007-02-21 |
| 发明（设计）人： | 江幡敏;米田英司;永井智树;舍人达也;王勇;岩泽晴生;西村幸生 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C07D207/40;C07D209/70;C07D211/88;C07D221/14;C07D491/18 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈昕 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 发生 磺酸 衍生物 辐射 敏感 树脂 组合 | ||
【权利要求书】：
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