[发明专利]金属气体混合离子注入机有效
| 申请号： | 200610124137.3 | 申请日： | 2006-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN101017761A | 公开（公告）日： | 2007-08-15 |
| 发明（设计）人： | 陶士慧;马山明;邵先华;叶围洲;蔡恩发;蔡坚将;吴观绵;吴九妹;蔡秀芳 | 申请（专利权）人： | 珠海市恩博金属表面强化有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;C23C14/48;H01L21/265 |
| 代理公司： | 广州市红荔专利代理有限公司 | 代理人： | 李彦孚 |
| 地址： | 519000广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属气体混合离子注入机，旨在提供一种效果好的、使用范围大的金属气体混合离子注入机。该机包括金属离子源(1)、离子源供电系统、气体离子源(31)、供气系统、气体离子源供电系统、真空室(2)、工件靶台(3)、抽真空系统(4)、冷却系统和控制屏。本发明能将金属离子和气体离子混合注入到工件表面，从而使离子注入技术的使用范围得到大大扩展。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 气体 混合 离子 注入 | ||
【主权项】：
1、一种金属气体混合离子注入机，包括金属离子源(1)、金属离子源供电系统、真空室(2)、工件靶台(3)、抽真空系统(4)、冷却系统和控制屏，所述金属离子源(1)设置于所述真空室(2)的上部并与所述真空室(2)相连通，所述工件靶台(3)设置于所述真空室(2)中，所述冷却系统与所述金属离子源(1)相连接，所述控制屏分别与所述金属离子源供电系统、所述真空室(2)、所述抽真空系统(4)、所述冷却系统相连接，其特征在于：它还包括气体离子源(31)、供气系统、气体离子源供电系统，所述气体离子源(31)设置于所述真空室(2)的上部并与所述真空室(2)相连通，所述气体离子源(31)、所述供气系统、气体离子源供电系统分别与所述控制屏相连接，所述金属离子源(1)与所述气体离子源(31)相互成一定角度。
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