[发明专利]金属气体混合离子注入机有效
| 申请号： | 200610124137.3 | 申请日： | 2006-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN101017761A | 公开（公告）日： | 2007-08-15 |
| 发明（设计）人： | 陶士慧;马山明;邵先华;叶围洲;蔡恩发;蔡坚将;吴观绵;吴九妹;蔡秀芳 | 申请（专利权）人： | 珠海市恩博金属表面强化有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;C23C14/48;H01L21/265 |
| 代理公司： | 广州市红荔专利代理有限公司 | 代理人： | 李彦孚 |
| 地址： | 519000广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属 气体 混合 离子 注入 | ||
【说明书】：
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