[发明专利]确定镜头受热变形修正参数的方法有效
| 申请号： | 200610118340.X | 申请日： | 2006-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN101187780A | 公开（公告）日： | 2008-05-28 |
| 发明（设计）人： | 李昆益;袁烽;杨金坡;王士喜 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种确定镜头受热变形修正参数方法，该方法包括如下步骤：a.预设第一个镜头受热变形修正参数；b.选择一片晶圆，在该晶圆不同的位置分别选择至少第一个代表区域；c.选择第二个代表区域；d.先对第一代表区域进行曝光，并对除第一代表区域和第二代表区域的其它区域进行曝光，相当于曝光了第一片晶圆；e.对第二代表区域进行曝光，并对除第一代表区域和第二代表区域的其它区域进行曝光，相当于曝光了第二片晶圆；f.量测的参数并绘制表示每片晶圆参数特征的曲线图；g.预设第二个受热变形修正参数，并重复步骤b，c，d，e，f；h.选择两个曲线图中曲线斜率最小的镜头受热变形修正参数为最佳参数。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 镜头 受热 变形 修正 参数 方法 | ||
【主权项】：
1.一种确定镜头受热变形修正参数方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：a.预设第一个镜头受热变形修正参数；b.选择一片晶圆，在该晶圆不同的位置分别选择至少第一个代表区域；c.选择第二个代表区域；d.先对第一代表区域进行曝光，并对除第一代表区域和第二代表区域的其它区域进行曝光，相当于曝光了第一片晶圆；e.对第二代表区域进行曝光，并对除第一代表区域和第二代表区域的其它区域进行曝光，相当于曝光了第二片晶圆；f.量测的参数并绘制表示每片晶圆参数特征的曲线图；g.预设第二个受热变形修正参数，并重复步骤b，c，d，e，f；h.选择两个曲线图中曲线斜率最小的镜头受热变形修正参数为最佳参数。
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