[发明专利]确定镜头受热变形修正参数的方法

权利要求书

1.一种确定镜头受热变形修正参数方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：

a.预设第一个镜头受热变形修正参数；

b.选择一片晶圆，在该晶圆不同的位置分别选择至少第一个代表区域；

c.选择第二个代表区域；

d.先对第一代表区域进行曝光，并对除第一代表区域和第二代表区域的其它区域进行曝光，相当于曝光了第一片晶圆；

e.对第二代表区域进行曝光，并对除第一代表区域和第二代表区域的其它区域进行曝光，相当于曝光了第二片晶圆；

f.量测的参数并绘制表示每片晶圆参数特征的曲线图；

g.预设第二个受热变形修正参数，并重复步骤b，c，d，e，f；

h.选择两个曲线图中曲线斜率最小的镜头受热变形修正参数为最佳参数。

2.如权利要求1所述的确定镜头受热变形修正参数的方法，其特征在于：所述步骤b中第一代表区域包括一片晶圆上的上部，中部，下部，左部及右部各一块子区域。

3.如权利要求2所述的确定镜头受热变形修正参数的方法，其特征在于：第二代表区域包括5个子区域，每个子区域与第一代表区域的子区域对应相邻。

4.如权利要求1所述的确定镜头受热变形修正参数的方法，其特征在于：步骤d还包括利用量测机台量出分别测出套刻(OVL)值中Shot_Mag参数其中。

5.如权利要求1所述的确定镜头受热变形修正参数的方法，其特征在于：所述参数特征表征曝光晶片两层是否对准。

6.如权利要求1所述的确定镜头受热变形修正参数的方法，其特征在于：所述曲线图的横坐标表征第一片晶圆和第二片晶圆，纵坐标表征在设定镜头受热变形修正参数的两片晶圆所对应的参数特征。

7.如权利要求1所述的确定镜头受热变形修正参数的方法，其特征在于：所述镜头变热修正参数预设根据晶圆上材质的不同改变。