[发明专利]一种光刻胶清洗剂无效
| 申请号： | 200610117668.X | 申请日： | 2006-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN101169598A | 公开（公告）日： | 2008-04-30 |
| 发明（设计）人： | 彭洪修;史永涛;刘兵;曾浩 | 申请（专利权）人： | 安集微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 上海虹桥正瀚律师事务所 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203上海市浦东新区张江高科*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻胶清洗剂，包含缓蚀剂和溶剂，其特征在于所述的缓蚀剂包含两类化合物：一类为烷基醇单芳基醚类化合物，另一类选自酚类化合物，羧酸、聚羧酸、羧酸酯、聚羧酸酯类化合物，酸酐、聚酸酐类化合物和/或膦酸、膦酸酯类化合物。这种光刻胶清洗剂对于二氧化硅、Cu(铜)等金属以及低k材料等具有良好的防腐蚀性，在半导体晶片清洗等微电子领域具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 洗剂 | ||
【主权项】：
1.一种光刻胶清洗剂，包含缓蚀剂和溶剂，其特征在于所述的缓蚀剂包含两类化合物：一类为烷基醇单芳基醚类化合物，另一类选自酚类化合物，羧酸、聚羧酸、羧酸酯、聚羧酸酯类化合物，酸酐、聚酸酐类化合物或膦酸、膦酸酯类化合物。
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