[发明专利]有机无机复合膜的回收再生系统及制法

摘要

本发明提供了一种回收再生系统及其制法，该系统包括用以电蚀刻工作物的金属膜层的电解蚀刻设备，该电解蚀刻设备具有：蚀刻单元，其具有阳极、阴极和绝缘罩，其中该阴极位于该阳极的一侧，且该绝缘罩罩住该阳极以隔绝阳极和阴极；工作台，供承放工作物，以使工作物的表层面对阳极和阴极；电源供应器，具有正极和负极，其分别连接该蚀刻单元的阳极和阴极；以及电解液供应源，连通蚀刻单元的绝缘罩，且连续地注入电解液于阳极后，再冲刷于工作物的表层且沿该表层与阴极间所定义的间隙流出；本发明不仅能有效回收不良品以重新投产，而不会造成二次污染，更能将废弃物回收处理成可再利用的资源。

主权项

1.一种回收再生系统，包括用来电蚀刻一工作物的金属膜层的电解蚀刻设备，该电解蚀刻设备具有：一蚀刻单元，其具有阳极、阴极和绝缘罩，其中阴极位于阳极的一侧，且该绝缘罩罩住阳极以隔绝阳极和阴极；一工作台，供承放工作物，以使该工作物的表层面对阳极和阴极；一电源供应器，具有正极和负极，其分别连接该蚀刻单元的阳极和阴极；以及一电解液供应源，连通于蚀刻单元的绝缘罩，其用于将电解液连续地注入阳极后，使该电解液再冲刷工作物的表层且沿该表层与阴极间所定义的间隙流出。