[发明专利]有机无机复合膜的回收再生系统及制法

权利要求书

1.一种回收再生系统，包括用来电蚀刻一工作物的金属膜层的电解蚀刻设备，该电解蚀刻设备具有：

一蚀刻单元，其具有阳极、阴极和绝缘罩，其中阴极位于阳极的一侧，且该绝缘罩罩住阳极以隔绝阳极和阴极；

一工作台，供承放工作物，以使该工作物的表层面对阳极和阴极；

一电源供应器，具有正极和负极，其分别连接该蚀刻单元的阳极和阴极；以及

一电解液供应源，连通于蚀刻单元的绝缘罩，其用于将电解液连续地注入阳极后，使该电解液再冲刷工作物的表层且沿该表层与阴极间所定义的间隙流出。

2.如权利要求1所述的回收再生系统，其中所述电解蚀刻设备的蚀刻单元和工作台可相对位移。

3.如权利要求1所述的回收再生系统，其中所述电解蚀刻设备的蚀刻单元还具有一金属件，该金属件设于绝缘罩邻近工作物的末端。

4.如权利要求1所述的回收再生系统，其中所述蚀刻单元的阴极相对于阳极具有较大的暴露面积面向工作物。

5.如权利要求4所述的回收再生系统，其中所述蚀刻单元的阳极具有多个电极棒，该多个电极棒形成一阵列指向工作物，用以加强蚀刻该阳极投影于该工作物的投影区域。

6.如权利要求1所述的回收再生系统，还包括选择性熔炉和电镀设备，其中该选择性熔炉用以通过高温熔融来使所述电解蚀刻设备的阴极侧沉积的电镀金属分离出特定熔点的第一金属，该电镀设备用以施加特定电压来使所述电解蚀刻设备流出的电解液电镀还原出第二金属。

7.如权利要求6所述的回收再生统，还包括精炼炉，用以将第一金属和第二金属精炼为超高纯度的金属。

8.如权利要求1所述的回收再生系统，还包括化学剥离设备，用以化学剥离所述工作物的有机膜层。

9.如权利要求8所述的回收再生系统，还包括臭氧装置，用以分解所述剥离后的有机废料。

10.一种回收再生制法用于回收一工作物，该工作物具有一有机无机复合膜，其步骤包括：

电解蚀刻该有机无机复合膜中的一金属膜层；以及

化学剥离该有机无机复合膜中的一有机膜层。