[发明专利]水平手动式晶舟转换器防护装置

摘要

本发明公开了一种在晶舟转换器上设立的保护装置，使得只有当两晶舟被放置在晶舟转换器上的正确位置上时，才可以进行晶圆转换操作，其在晶舟转换器上枢接两顶杆，该两顶杆可卡制该晶舟转换器的推杆移动，且该两顶杆分别与一顶杆钮枢接，又该顶杆钮是凸出设置于该晶舟转换器上，因此只有当两晶舟分别放置于该晶舟转换器上的正确位置上时，才会分别压触该两顶杆钮，而分别连动该两顶杆摆动，从而解除对该推杆的卡制，因此，才可利用该推杆进行晶圆转换作业，故其可避免因晶舟摆放位置的偏差所引起的晶圆破片、损坏与刮伤等情况的发生，从而降低了成本，提高生产效益。

主权项

1.一种水平手动式晶舟转换器防护装置，是设置于一晶舟转换器(10)上，所述晶舟转换器(10)具有一推杆(11)与一工作表面(12)，所述推杆(11)延伸有一抵杆(15)与一握把(16)，其特征在于，包括：第一顶杆(20)，所述第一顶杆(20)枢接于所述晶舟转换器(10)上，而可微幅摆动，所述第一顶杆(20)的一端顺向伸入所述抵杆(15)的移动路径，且端部具有一勾部(21)而可勾住所述抵杆(15)，而制止所述推杆(11)的移动；第一顶杆钮(40)，所述第一顶杆钮(40)是与所述第一顶杆(20)枢接并凸设于所述晶舟转换器(10)的工作表面(12)上，按压所述第一顶杆钮(40)移动时可连动所述第一顶杆(20)摆动，而让所述第一顶杆(20)的一端离开所述抵杆(15)的移动路径；第二顶杆(30)，所述第二顶杆(30)枢接于晶舟转换器(10)上，而可微幅摆动，所述第二顶杆(30)的一端反向伸入所述抵杆(15)的移动路径，并可制止所述推杆(11)的移动；第二顶杆钮(50)，所述第二顶杆钮(50)与所述第二顶杆(30)枢接并凸设于所述晶舟转换器(10)的工作表面(12)上，按压所述第二顶杆钮(50)移动时可连动所述第二顶杆(30)摆动，而让所述第二顶杆(30)的一端离开所述抵杆(15)的移动路径。