[发明专利]基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系统无效
| 申请号： | 200610105710.6 | 申请日： | 2006-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN1895974A | 公开（公告）日： | 2007-01-17 |
| 发明（设计）人： | 矢泽隆之;荒川洋;小山淳之介 | 申请（专利权）人： | 日本电产三协株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65D85/48;B65D85/86;G02F1/133;H01J9/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 方晓虹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能相对多层结构的基板收纳箱可靠地搬出及搬入基板的基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系统。本发明的基板搬出搬入方法，相对于以规定间隔多层地排列有从里侧向跟前侧延伸的长支撑部(15)、并在各层的长支撑部(15)上承载基板(1)进行多层收纳的箱体(11)，使用具有承载所述基板(1)用的手部(22)的机器人(21)将基板(1)搬出搬入，包含对将要承载对象基板(1)的长支撑部(15)的跟前侧端部(16)或已经承载有对象基板(1)的长支撑部(15)的跟前侧端部(16)进行支承、扩大箱体(11)内供手部(22)进入或后退的空间的支承工序(A)，从箱体(11)搬出对象基板(1)的搬出工序及向箱体(11)搬入对象基板(1)的搬入工序与所述支承工序(A)一起进行。 | ||
| 搜索关键词： | 搬出 方法 系统 | ||
【主权项】：
1、一种基板搬出搬入方法，相对于以规定间隔多层地排列有从里侧向跟前侧延伸的长支撑部、并在各层的长支撑部上承载基板进行多层收纳的箱体，使用具有承载所述基板用的手部的机器人将基板搬入或将基板搬出，其特征在于，包含对将要承载对象基板的长支撑部或已经承载有对象基板的长支撑部进行支承、扩大箱体内供所述手部进入或后退的空间的支承工序(A)，从所述箱体搬出对象基板的搬出工序及向所述箱体搬入对象基板的搬入工序与该支承工序(A)一起进行。
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