[发明专利]基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系统无效
| 申请号： | 200610105710.6 | 申请日： | 2006-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN1895974A | 公开（公告）日： | 2007-01-17 |
| 发明（设计）人： | 矢泽隆之;荒川洋;小山淳之介 | 申请（专利权）人： | 日本电产三协株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65D85/48;B65D85/86;G02F1/133;H01J9/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 方晓虹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 搜索关键词： | 搬出 方法 系统 | ||
【权利要求书】：
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