[发明专利]隐藏铰链微机电装置无效
| 申请号： | 200610105427.3 | 申请日： | 2006-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN101101370A | 公开（公告）日： | 2008-01-09 |
| 发明（设计）人： | 彼得·伊诺克森;马丁·布林格 | 申请（专利权）人： | 麦克罗尼克激光系统公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微机电装置的制造方法，所述方法包括：通过从基板除去材料而在所述基板中界定至少一个隐藏支撑；将所述至少一个隐藏支撑贴附到包括至少一个致动电极的晶片，所述致动电极能致动所述基板的至少一部分，其中所述基板的旋转轴基本垂直于所述隐藏支撑。 | ||
| 搜索关键词： | 隐藏 铰链 微机 装置 | ||
【主权项】：
1、一种微机电装置的制造方法，所述方法包括：通过从基板除去材料而在所述基板中界定至少一个隐藏支撑；将所述至少一个隐藏支撑贴附到包括至少一个致动电极的晶片，所述致动电极能致动所述基板的至少一部分，其中所述基板的旋转轴基本垂直于所述隐藏支撑。
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