[发明专利]抛光液以及抛光Ⅱ－Ⅵ族化合物半导体晶片的方法有效
| 申请号： | 200610105133.0 | 申请日： | 2006-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN1970665A | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 马淑英;介万奇;华慧;王涛;杨光昱 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | C09G1/18 | 分类号： | C09G1/18;H01L21/304 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 | 代理人： | 黄毅新 |
| 地址： | 710072陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抛光液，其组成为：脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠0.1～0.75g/L、十二烷基苯磺酸钠0.04～0.4g/L、椰子油酸二乙醇酰胺0.02～0.15g/L、溴的体积分数1～2％、其余为无水乙醇。还公开了上述抛光液抛光II－VI族化合物半导体晶片的方法，包括下述步骤：将橡胶垫平铺于抛光盘上，将细磨后的II－VI族化合物半导体晶片固定在抛光装置的支架上，在橡胶垫上滴加抛光液10～30毫升，设定抛光盘转速15～50r/min，对半导体晶片抛光10～120秒，立即用无水乙醇冲洗，再用高纯水冲洗后，于干燥器中存放。本发明利用表面活性使得污物易于清洗，加上橡胶抛光垫的使用，使得抛光面粗糙度由现有技术的50埃以内降低到30埃以内。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 以及 化合物 半导体 晶片 方法 | ||
【主权项】：
1、一种抛光液，其组成为：脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠0.1～0.75g/L、十二烷基苯磺酸钠0.04～0.4g/L、椰子油酸二乙醇酰胺0.02～0.15g/L、溴的体积分数1～2％、其余为无水乙醇。
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