[发明专利]抛光液以及抛光Ⅱ－Ⅵ族化合物半导体晶片的方法有效
| 申请号： | 200610105133.0 | 申请日： | 2006-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN1970665A | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 马淑英;介万奇;华慧;王涛;杨光昱 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | C09G1/18 | 分类号： | C09G1/18;H01L21/304 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 | 代理人： | 黄毅新 |
| 地址： | 710072陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抛光 以及 化合物 半导体 晶片 方法 | ||
【说明书】：
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