[发明专利]结合电化学加工与电解抛光的复合式微加工装置及方法

摘要

一种结合电化学加工与电解抛光的复合式微加工装置及方法，其方法包括：1.准备步骤、2.第一阶段加工步骤、3.第二阶段加工步骤，以及4.完成步骤，其装置部分包括一可提供第一工作液体的电化学加工溶液容纳部；一可提供第二工作液体的电解抛光溶液容纳部；一待加工金属是连结正电；一加工模部是连结负电；借此，将该待加工金属与该加工模部先浸在该第一工作液体中进行电化学加工，再浸入该第二工作液体中进行电解抛光加工。本发明加工速度快、可改善表面粗糙度，以及适合对高硬度金属工件进行加工等优点。

主权项

1.一种结合电化学加工与电解抛光的复合式微加工装置，其特征在于，包括：一电化学加工溶液容纳部，是用以提供一第一工作液体，该第一工作液体为含有水及盐类物质的中性溶液；一电解抛光溶液容纳部，是用以提供一第二工作液体，该第二工作液体为含有水及酸性物质的酸性溶液；一电源部，具有一正极及一负极；一待加工金属固定部，用以固定一待加工金属，该待加工金属连接至该正极；一加工模板组件，具有一微量移动控制部及一具有预定形状的加工模部，该加工模部是连接至该负极；借此，该待加工金属与该加工模部先浸在该第一工作液体中进行第一阶段加工，之后再浸入该第二工作液体中进行第二阶段加工。