[发明专利]结合电化学加工与电解抛光的复合式微加工装置及方法

权利要求书

1.一种结合电化学加工与电解抛光的复合式微加工装置，其特征在于，包括：

一电化学加工溶液容纳部，是用以提供一第一工作液体，该第一工作液体为含有水及盐类物质的中性溶液；

一电解抛光溶液容纳部，是用以提供一第二工作液体，该第二工作液体为含有水及酸性物质的酸性溶液；

一电源部，具有一正极及一负极；

一待加工金属固定部，用以固定一待加工金属，该待加工金属连接至该正极；

一加工模板组件，具有一微量移动控制部及一具有预定形状的加工模部，该加工模部是连接至该负极；

借此，该待加工金属与该加工模部先浸在该第一工作液体中进行第一阶段加工，之后再浸入该第二工作液体中进行第二阶段加工。

2.根据权利要求1所述的结合电化学加工与电解抛光的复合式微加工装置，其特征在于：

所述电化学加工溶液容纳部与所述电解抛光溶液容纳部为两个分隔开的贮液槽；

所述第一阶段加工为电化学加工；

所述第二阶段加工为电解抛光加工。

3.根据权利要求1所述的结合电化学加工与电解抛光的复合式微加工装置，其特征在于：

所述微量移动控制部可控制所述加工模部朝所述待加工金属方向移动，并保持一预定的加工间隙。

4.一种结合电化学加工与电解抛光的复合式微加工方法，其特征在于，包括下列步骤：

一.准备步骤：准备电化学加工溶液容纳部、一电解抛光溶液容纳部、一电源部、一待加工金属固定部及一加工模板组件；该电化学加工溶液容纳部是用以提供一第一工作液体，该第一工作液体为含有水及盐类物质的中性溶液；该电解抛光溶液容纳部用以提供一第二工作液体，该第二工作液体为含有水及酸性物质的酸性溶液；该电源部是具有一正极及一负极；该待加工金属固定部是用以固定一待加工金属，该待加工金属连接至该正极；该加工模板组件具有一微量移动控制部及一具有预定形状的加工模部，该加工模部是连接至该负极；

二.第一阶段加工步骤：将该待加工金属与该加工模部浸在该第一工作液体中进行第一阶段加工；

三.第二阶段加工步骤：将该待加工金属与该加工模部浸在该第二工作液体中进行第二阶段加工；

四.完成步骤：在该待加工金属表面加工出相对应该加工模部的形状，得到一成品。

5.根据权利要求4所述的结合电化学加工与电解抛光的复合式微加工方法，其特征在于：

所述电化学加工溶液容纳部与所述电解抛光溶液容纳部为两个分隔开的贮液槽；

所述第一阶段加工为电化学加工；

所述第二阶段加工为电解抛光加工；

所述微量移动控制部是可控制所述加工模部朝该待加工金属方向移动，并保持一预定的加工间隙。