[发明专利]离子源进气实时控制系统及控制方法有效
| 申请号： | 200610098152.5 | 申请日： | 2006-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN1996546A | 公开（公告）日： | 2007-07-11 |
| 发明（设计）人： | 胡纯栋;刘胜;盛鹏;宋士花;刘智民;王绍虎 | 申请（专利权）人： | 中国科学院等离子体物理研究所 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/04;H01J37/00;H01J27/02;H05H1/00 |
| 代理公司： | 合肥华信专利商标事务所 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230031安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子源进气实时控制系统及控制方法。系统分为反馈信号产生与传输、信号处理与控制和控制传输与执行三大部分。离子饱和流传感器伸入到离子源内部，可控气阀安装在离子源侧面。根据离子饱和流传感器测得的离子饱和流信号和设置参考信号的差值调节离子源的进气量，以此来减小差值，控制可控气阀两端的电压，使得弧流逐渐逼近参考值。本发明可以使弧电源的工作模式简单，电源系统提高了可靠性和易于维护性；通过对进气量的调节，按照需要对等离子体进行加料，减轻了整个系统的真空系统的负担；可以获得稳定的等离子体、长脉冲运行和稳态均匀的等离子体密度，有利于系统引出高质量的束流。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 实时 控制系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
1、离子源进气实时控制系统，包括有离子源(11)，其特征在于离子饱和流传感器(12)伸入到离子源(11)内部，离子饱和流传感器(12)的输出端与采样电路(25)的输入端相连，采样电路(25)的输出端与信号隔离放大电路(26)的输入端相连，信号隔离放大电路的输出端与A/D采集模块(33)输入端相连，完成输出电路上传输反馈信号Vf(40)；工业控制计算机(30)与A/D采集模块(33)、网络模块(32)和D/A输出模块(31)通过PCI总线相连；D/A输出模块输出控制信号(41)到VF转换器(24)的输入端，VF转换器(24)的输出端与FV转换器(22)的输入端通过光纤(23)相连，FV转换器的输出端连接到气阀电源驱动模块(21)，气阀电源驱动模块(21)输出端连接到可控气阀(10)的电压两端，可控气阀(10)安装在离子源(11)侧面。
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