[发明专利]离子源进气实时控制系统及控制方法有效
| 申请号： | 200610098152.5 | 申请日： | 2006-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN1996546A | 公开（公告）日： | 2007-07-11 |
| 发明（设计）人： | 胡纯栋;刘胜;盛鹏;宋士花;刘智民;王绍虎 | 申请（专利权）人： | 中国科学院等离子体物理研究所 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/04;H01J37/00;H01J27/02;H05H1/00 |
| 代理公司： | 合肥华信专利商标事务所 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230031安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子源 实时 控制系统 控制 方法 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院等离子体物理研究所，未经中国科学院等离子体物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200610098152.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种实现在不同产品之间提供及获取奖励的系统方法
- 下一篇：普洱茶印章防伪方法
