[发明专利]利用调制功率信号用于控制离子密度和能量的系统和方法无效
| 申请号： | 200610092768.1 | 申请日： | 2006-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN1896302A | 公开（公告）日： | 2007-01-17 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·W.·斯托厄尔 | 申请（专利权）人： | 应用膜公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/34;H01J27/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蒋世迅 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开一种在溅射系统中用于控制离子密度和溅射速率的方法。在一个实施例中，加第一脉冲宽度功率信号到阴极，从而产生较高的浓度离子。然后，减小第一脉冲宽度功率信号的脉冲宽度，从而增大溅射速率和减小阴极周围的离子密度。其次，重复该过程以产生调制的信号。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 调制 功率 信号 用于 控制 离子 密度 能量 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在至少包含一个阴极的溅射系统中用于控制离子的方法，该方法包括：产生调制的功率信号；和给阴极提供该调制的功率信号。
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