[发明专利]一种提高直线度测量灵敏度的方法与装置

摘要

本发明公开了属于光电检测技术领域的一种提高直线度测量灵敏度的方法与装置。由固定单元、移动单元和计算机三部分组成的激光测量系统。包括激光发射器、偏光分光器、λ/4波片、反射器、光电接收单元以及信号处理组成的稳定准直激光测量系统，通过光学器件设置测量光线多次经过移动靶镜，使其测量灵敏度成倍得到放大。同时在探测器前面设置透镜组，使系统测量灵敏度得到进一步放大。实现了直线导轨高灵敏度二维直线度实时测量。

主权项

1.一种提高直线度测量灵敏度的测量装置，所述提高直线度测量灵敏度的测量装置为由固定单元(100)、移动单元(200)和计算机系统(300)三部分组成的激光测量系统，其特征是，固定单元(100)的带尾光纤半导体激光发射器(1)、单模光纤(2)、准直透镜(3)、偏光分光器(4)、λ/4波片(5)和移动单元的反时器(11)放置在发射光光路的光轴上；在反射光光轴上，在偏光分光器(4)下面放置反射器(6)，在单模光纤(2)下面，从上向下放置平面反射镜(7)、透镜组(8)、和光电探测器(9)，驱动和信号处理器(10)分别和带尾光纤半导体激光发射器(1)、光电探测器(9)和计算机(12)连接。