[发明专利]电容式微波功率传感器有效
| 申请号： | 200610085329.8 | 申请日： | 2006-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN1858601A | 公开（公告）日： | 2006-11-08 |
| 发明（设计）人： | 黄庆安;韩磊;廖小平 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R29/08 | 分类号： | G01R29/08;G01R31/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 叶连生 |
| 地址： | 21009*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 电容式微波功率传感器是利用共面波导上传输的微波功率对MEMS悬臂梁的吸引导致梁的位移，通过测量悬臂梁与传感电极之间电容变化的方式测得共面波导上传输的微波功率的结构，该传感器以GaAs或Si衬底(1)为衬底，在GaAs或Si衬底(1)上设有共面波导(2)，在共面波导地线(21)上连接一条与共面波导(2)相垂直的悬臂梁(3)，该悬臂梁(3)悬空于共面波导(2)的上方，在悬臂梁(3)的端部的下方连接有一个传感电极(4)。该电容式微波功率传感器结构利用悬臂梁感应共面波导上传输的微波信号产生位移，并将之转化为电容变化，可以提高功率传感器的灵敏度和简化结构，并实现了在材料、工艺、可重复性和生产成本等诸多方面的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 式微 功率 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种电容式微波功率传感器，其特征在于该传感器以GaAs或Si衬底(1)为衬底，在GaAs或Si衬底(1)上设有共面波导(2)，在共面波导地线(21)上连接一条与共面波导(2)相垂直的悬臂梁(3)，该悬臂梁(3)悬空于共面波导(2)的上方，在悬臂梁(3)端部的下方放置有一个传感电极(4)。
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