[发明专利]具有放电感应电桥的等离子源及利用其的等离子处理系统有效
| 申请号： | 200610084863.7 | 申请日： | 2006-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN1870851A | 公开（公告）日： | 2006-11-29 |
| 发明（设计）人： | 崔大圭;魏淳任 | 申请（专利权）人： | 新动力等离子体株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H05H1/30 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 钟强;关兆辉 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 等离子源具有多个放电感应电桥，该放电感应电桥上耦合了缠绕有变压器的初级线圈的磁芯。放电感应电桥和接受器相对配置。放电感应电桥由中空管构成，当变压器的初级线圈的电流被驱动时，在磁芯中感应到磁束，从而以放电感应电桥为中心形成感应耦合等离子体。通过多个放电感应电桥，等离子放电并列且平均地被感应，可获得高密度、平均且大面积的等离子体。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 放电 感应 电桥 离子源 利用 等离子 处理 系统 | ||
【主权项】：
1.一种等离子处理室，其特征在于，包括：室外壳，具有内部放置被处理基板的至少一个接受器；横切室外壳内部设置的多个放电感应电桥；室外壳的多个开口部，连接多个放电感应电桥的两端；变压器，具有在多个放电感应电桥上安装的磁芯和初级线圈；以及和初级线圈电连接的第一电源供给源，其中，通过第一电源供给源驱动初级线圈的电流，从而以放电感应电桥为中心形成感应耦合等离子体，感应出完成变压器的次级电路的室外壳的内侧AC电位。
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