[发明专利]具有放电感应电桥的等离子源及利用其的等离子处理系统有效
| 申请号： | 200610084863.7 | 申请日： | 2006-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN1870851A | 公开（公告）日： | 2006-11-29 |
| 发明（设计）人： | 崔大圭;魏淳任 | 申请（专利权）人： | 新动力等离子体株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H05H1/30 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 钟强;关兆辉 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 放电 感应 电桥 离子源 利用 等离子 处理 系统 | ||
【权利要求书】：
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