[发明专利]图像感测元件及其制作方法有效

申请号：	200610077350.3	申请日：	2006-04-29
公开（公告）号：	CN101064327A	公开（公告）日：	2007-10-31
发明（设计）人：	施俊吉	申请（专利权）人：	联华电子股份有限公司
主分类号：	H01L27/146	分类号：	H01L27/146;H01L21/822
代理公司：	北京市柳沈律师事务所	代理人：	陶凤波;侯宇
地址：	中国台湾新竹***	国省代码：	中国台湾;71
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摘要：	一种图像感测元件，包括半导体基底、感光区位于半导体基底中、栅电极位于该感光区的一侧的半导体基底上、图案化介电层覆盖该栅电极以及该感光区，并暴露部分该栅电极，以及间隙壁，位于图案化介电层上并围绕栅电极。
搜索关键词：	图像元件及其制作方法
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【主权项】：

1.一种图像感测元件，包括：半导体基底；感光区，位于该半导体基底中；栅电极，位于该感光区的一侧的该半导体基底上；图案化介电层，覆盖该栅电极以及该感光区，并暴露部分该栅电极；以及间隙壁，位于该图案化介电层上并围绕该栅电极。

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