[发明专利]光学元件和光照设备无效
| 申请号： | 200610071968.9 | 申请日： | 2006-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN1841210A | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | 田中幸一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社半导体能源研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘红;张志醒 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的一个目的是提供一种在照射表面上形成具有均匀能量分布的射束点的光学元件，并提供一种光照设备。本发明的另一目的是提供一种使用均匀能量分布的射束点的半导体装置的制造方法。本发明的一个特征在于，通过形成配备有使用多个反射器作为侧壁的多边形入口和出口的光学元件并引导光束进入该光学元件，均化照射表面上的射束点的能量分布。而且，通过使反射器可移动可以获得所需尺寸和形状的射束点。而且，通过使用该光学元件的光照设备，可以减少制造半导体装置中的次品。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 光照 设备 | ||
【主权项】：
1.一种光学元件，它均化照射表面上射束点的能量分布，包括：多边形入口和出口，其中所述多边形入口和出口包括多个反射器，多个反射器中的每个反射器相对于另一相邻反射器可移动。
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