[发明专利]光学元件和光照设备无效
| 申请号: | 200610071968.9 | 申请日: | 2006-03-31 |
| 公开(公告)号: | CN1841210A | 公开(公告)日: | 2006-10-04 |
| 发明(设计)人: | 田中幸一郎 | 申请(专利权)人: | 株式会社半导体能源研究所 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 刘红;张志醒 |
| 地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 光学 元件 光照 设备 | ||
【说明书】:
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