[发明专利]用于离子注入机中的高压保护联锁有效
| 申请号： | 200610066991.9 | 申请日： | 2006-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN101051609A | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 唐景庭;孙雪平;彭立波;何科峰 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/265 | 分类号： | H01L21/265;H01J37/317;C30B31/22;H01H9/20;H01H9/22;G01R19/155;G01R19/165 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 昝美琪;张占榜 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明的用于离子注入机中的高压保护联锁，包括用于使各机房门关闭－锁上或开锁－打开的多个门控开关、与相对应的多个门控开关串联的多套门控继电器、与相对应的多套门控继电器串联的多个门状态指示灯、与串联在一起的各套门控继电器串联的高压保护联锁继电器、与高压保护联锁继电器串联的高压电源供电交流接触器、与高压电源供电交流接触器串联的光电隔离控制元件和与高压保护联锁继电器串联的高压警示灯。多套门控继电器、高压保护联锁继电器和光电隔离控制元件分别连接到控制器。从控制器可得到各个门关闭状态的信号，根据情况控制高压电源的供电或断电，以确保高压防护门有效地关闭－锁上或开锁－打开，本发明便于检查，安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 离子 注入 中的 高压 保护 联锁 | ||
【主权项】：
1、一种用于离子注入机中的高压保护联锁，包括高压保护联锁继电器和与其串联的高压警示灯，其特征在于，它还包括：多个门控开关，用于使各机房门关闭-锁上或开锁-打开的可控开关；多套门控继电器，与相对应的多个门控开关串联，串联在一起的各套门控继电器与所述的高压保护联锁继电器串联；高压电源供电交流接触器，与所述的高压保护联锁继电器串联；以及光电隔离控制元件，与高压电源供电交流接触器串联；多套门控继电器、高压保护联锁继电器和光电隔离控制元件分别连接到控制器。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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