[发明专利]表面特性测量仪的平直度校正方法以及表面特性测量仪

摘要

一种表面特性测量仪及平直度校正方法，为进行测量而旋转检测器时测量仪能根据检测器转角位置作校正操作。方法包括校正数据存储步骤，将相应于对应于粗糙度检测器设定于不同转角位置的转角位置的X轴驱动单元的移动位置的检测器校正数据存储到校正数据存储部；测量数据获取步骤，测量时获取在粗糙度检测器由旋转单元设定于对应于被测物体测量面的任何转角位置的状态下和在探测针接触被测物体测量表面的状态下驱动X轴驱动单元时作为测量数据的X轴驱动单元的移动位置和粗糙度检测器的移动量；校正计算步骤，从校正数据存储部读取与测量时粗糙度检测器转角位置一致或接近的检测器校正数据，利用所得检测器校正数据校正测量数据。

主权项

1、一种表面特性测量仪的平直度校正方法，该表面特性测量仪设置有检测被测物体表面特性的检测器，相对于测量方向移动检测器的驱动单元，以及改变检测器姿态的检测器姿态改变机构，其特征在于，该方法包括：校正数据存储步骤，将相应于相关于检测器所设定占据的每一不同姿态的、驱动单元的每一移动位置获得的检测器校正数据存储到存储装置中；测量数据获取步骤，于测量时获取在检测器由检测器姿态改变机构设定于对应于被测物体测量表面的任何姿态的状态下以及在检测器能够检测被测物体测量表面的表面特性的状态下驱动所述驱动单元时，作为测量数据的驱动单元的移动位置和检测器的检测量；以及校正计算步骤，从存储装置读取与测量时检测器的姿态一致或最接近的任何检测器校正数据，并利用该检测器校正数据对测量数据进行校正。