[发明专利]表面特性测量仪的平直度校正方法以及表面特性测量仪有效
| 申请号： | 200610051467.4 | 申请日： | 2006-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN1847787A | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | 片山实;加纳孝文 | 申请（专利权）人： | 三丰株式会社 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30;G01B7/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 王景刚;王冉 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面 特性 测量仪 平直 校正 方法 以及 | ||
【权利要求书】：
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