[发明专利]一种稳定生长大面积金刚石膜的热丝阵列电极系统

摘要

一种稳定生长大面积金刚石膜的热丝阵列电极系统，属热丝阵列电极装置领域。它由一个固定电极系统和一个依靠弹簧、导轨使热丝阵列保持平直的移动电极系统组成。两个电极系统的钼电极都是分别由上、下钼电极及铜管组成的，它们分别夹紧热丝阵列两端。另外，在固定电极系统和移动电极系统的钼电极附近都设有起冷却作用的导水管。其中移动电极系统中的导水管设计成螺旋状，以便上端可以随滑块移动。由于水冷作用，使得热丝阵列及钼电极附近附着物不易脱落。并且使得热丝阵列与钼电极电接触良好、平直、不易断丝、以保障稳定生长大面积高质量金刚石膜。如果在两个上钼电极相对的表面上开有浅槽，对提高两个上钼电极生长的含碳膜附着力效果更好。

主权项

1、一种稳定生长大面积金刚石膜的热丝阵列电极系统，包括左钼电极(1)、右钼电极(2)、左支撑板(12)、右支撑板(22)及热丝阵列(3)，其特征在于：(1)、左钼电极(1)由左上电极(14)和左下电极(13)组成，左下电极(13)上表面水平嵌有与热丝阵列(3)垂直的，且有一部分露出其上表面的小铜管(15)，左上电极(14)和左下电极(13)紧密接触，通过小铜管(15)将热丝阵列(3)中的每根热丝左端卡死；左钼电极(1)固定在左支撑板(12)的右端；左支撑板(12)的左端固定在冷却电极柱(11)和冷却电极柱(17)上借以被支撑，左支撑板(12)靠近左钼电极(1)附近有一通孔，该通孔将导水管(16)和导水管(18)导通；(2)、右钼电极(2)由右上电极(24)和右下电极(23)组成，右下电极(23)上表面水平嵌有与热丝阵列(3)垂直的，且有一部分露出其上表面的小铜管(25)，右上电极(24)和右下电极(23)紧密接触，通过小铜管(25)将热丝阵列(3)中的每根热丝右端卡死；右支撑板(22)的右端固定在冷却电极柱(21)和冷却电极柱(29)上借以被支撑，右支撑板(22)上表面左端附近固定一导轨(27)，导轨运动方向与热丝方向一致，右钼电极固定在与导轨(27)相配合的滑块(26)上，滑块(26)右端通过弹簧(32)与右支撑板(22)上表面右端附近固定的支柱(31)相连，滑块(26)上靠近右钼电极(2)附近有一通孔，该通孔将螺旋导水管(28)和螺旋导水管(30)导通。