[发明专利]热超声倒装键合剪切力测试仪无效
| 申请号： | 200610031767.6 | 申请日： | 2006-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN101086474A | 公开（公告）日： | 2007-12-12 |
| 发明（设计）人： | 韩雷;李建平;钟掘 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | G01N19/04 | 分类号： | G01N19/04;G01N3/24 |
| 代理公司： | 中南大学专利中心 | 代理人： | 胡燕瑜 |
| 地址： | 410083*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种热超声倒装键合剪切力测试仪，包括测力计和金属板，本发明测力计固定于金属底板上，引线框架用螺栓固定于可移动的滑台上，滑台能向测力计方向移动，当测力计测刀触及待测倒装键合芯片时，铝丝通过超声键合机被压焊在铝基板上，测力计推动铝丝，在测力计表盘上产生一个反映剪切强度大小的读数。所述的滑台相对位移的调整精度为10μm。该测试仪能简便、快速、准确地得到键合点剪切力强度数据。 | ||
| 搜索关键词： | 超声 倒装 剪切 测试仪 | ||
【主权项】：
1.一种热超声倒装键合剪切力测试仪，包括测力计和金属板，其特征在于：将测力计(3)固定于金属底板(4)上，引线框架(5)用螺栓(7)固定于可移动的滑台(8)上，通过带手动小轮的丝杠(10)调整滑台(8)在导轨(9)上向测力计(3)方向移动，当测力计(3)测刀触及待测倒装键合芯片(6)时，测力计同时显示剪切力值。
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