[发明专利]光纤薄膜光栅温度传感器

摘要

一种光纤薄膜光栅温度传感器，它由多层膜交替沉积在光纤的端面上而构成，膜系由至少两层高折射率薄膜层1和至少两层低折射率薄膜层2交替组成，薄膜层1可以是TiO₂、Ta₂O₃、ZrO₂或CeO₂膜层，薄膜层2为SiO₂膜层、TiO₂+SiO₂复合膜层、Al₂O₃、MgO₂膜层。该传感器的反射波长在可见光波段，并可通过改变各膜层厚度来任意调节反射光的中心波长。其温度传感系数可以依膜层材质的不同而变化。本发明为无电接触型微传感器，将其与光纤技术结合，可作远距离遥测和在线实时监测，并可制成高性价比小型化器件而适用于物体表面快速和小间隙场所的温度测量。

主权项

1、一种光纤薄膜光栅温度传感器，其特征是，它由至少两层高折射率薄膜层1和至少两层低折射率薄膜层2交替沉积在光纤的端面上而组成。