[发明专利]光纤薄膜光栅温度传感器

权利要求书

1、一种光纤薄膜光栅温度传感器，其特征是，它由至少两层高折射率薄膜层1和至少两层低折射率薄膜层2交替沉积在光纤的端面上而组成。

2、根据权利要求1所述光纤薄膜光栅温度传感器，其特征是，所述高折射率薄膜层1为TiO₂膜层或Ta₂O₃、ZrO₂、CeO₂膜层，所述低折射率薄膜层2为SiO₂膜层或TiO₂+SiO₂复合膜层、Al₂O₃、MgO₂膜层。

3、根据权利要求1所述光纤薄膜光栅温度传感器，其特征是，该传感器的反射波长可在可见光波段。

4、根据权利要求1所述光纤薄膜光栅温度传感器，其特征是，通过控制所述高、低折射率薄膜的厚度周期，任意调节该传感器的反射中心波长值。

5.根据权利要求1所述光纤薄膜光栅温度传感器，其特征是，通过控制高、低折射率薄膜的折射率之差，调节该传感器的反射中心波长波峰的半高宽以提高其峰值分辨率。

6、根据权利要求1所述光纤薄膜光栅温度传感器，其特征是，该传感器的温度传感系数为0.0X nm/℃量级，通过膜层材料的选择实现不同温度传感系数的传感器。