[发明专利]用于对准基板和罩板的装置以及使用该装置的方法有效
| 申请号： | 200610000430.9 | 申请日： | 2006-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN1800435A | 公开（公告）日： | 2006-07-12 |
| 发明（设计）人： | 郑星和;韩尚辰;姜有珍 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王琦;宋志强 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种用于对准基板和罩板的装置以及使用该装置的方法，其中该装置包括：在基板和罩板的未使用部分中的对准标记，用于在基板与罩板对准时确定对准标记重叠的传感单元，以及用于根据由传感单元所测量和确定的数据而控制对准过程重复进行的控制单元。传感单元可以包括：位于拍摄范围之内以确定对准标记的任何对准误差的照相机。根据本发明的另一实施例，测量基板和罩板间的对准误差来确定该对准误差是否可以接受。当该对准误差不可接受时，重复进行对准基板和罩板的操作，直至对准误差可以接受为止。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 对准 装置 以及 使用 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于对准基板和罩板的装置，包括：驱动单元；台架；传感单元，用以在通过驱动单元和台架对准基板和罩板时测量第一对准标记相对于第二对准标记的位置；控制单元，用以根据由传感单元测量和确定的数据重复进行对准过程，其中第一对准标记位于基板的未使用部分中，第二对准标记位于罩板的未使用部分中。
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