[发明专利]用于对准基板和罩板的装置以及使用该装置的方法有效
| 申请号： | 200610000430.9 | 申请日： | 2006-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN1800435A | 公开（公告）日： | 2006-07-12 |
| 发明（设计）人： | 郑星和;韩尚辰;姜有珍 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王琦;宋志强 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 对准 装置 以及 使用 方法 | ||
【权利要求书】：
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