[发明专利]具有设定和锁存电极的MEMS开关无效
| 申请号： | 200580052085.7 | 申请日： | 2005-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN101310206A | 公开（公告）日： | 2008-11-19 |
| 发明（设计）人： | 克拉伦斯·徐 | 申请（专利权）人： | IDC公司 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;B81B3/00;H01H59/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孟锐 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS装置，其以跨越第一电极(702)和可移动材料(714)安置的电压电激活。所述装置可通过与所述第一电极分隔的锁存电极(730a、730b)而维持在激活状态。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 设定 电极 mems 开关 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS装置，其包括：衬底；至少两个支柱，其由所述衬底支撑；至少两个电隔离的电极，其由所述衬底支撑且定位于所述支柱之间；可移动电极，其由所述支柱支撑在所述衬底上；以及至少两个开关端子，其取决于所述可移动电极的位置而可选择地连接。
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